(VLSI)為什麼曝光顯影的速度只需0.2秒?(微影製程) - 工程師

By Harry
at 2010-10-11T00:00

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因為老師上課的時候質疑到:從定位到曝光一次只需要0.2秒(他說是茂德的工程師告訴他的)?老師的問題在於只有零點多奈米的東西妳速度那麼快的去定位曝光
難道可以又快又精準?沒有誤差以及中間稍微的震動或擾動的一些因素
這個曝光顯影不就完蛋了??
老師的想法認為是這麼細微的東西應該越慢的速度去定位曝光才會合理
,所以請教各位大師此為題的矛盾處在於哪呢?

Tags: 工程師

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By Ophelia
at 2010-10-14T07:40

你老師什麼學歷...?....
2010-10-11 12:49:21 補充：
這道題目不合理吧...
他自己搞不好沒實務經驗....拿來問學生...
學生怎會知...
2010-10-11 13:00:16 補充：
怎麼看都是純研究型的工作...都不是要親自盯機台的..
2010-10-11 13:16:29 補充：
沒有矛盾...因為錢可以解決一切...
晶圓廠要的是產出...慢慢移動要如何賺錢?
黃光機貴在lens..光源數...光源強度...etc...
而throughput更要大...每一次的定位到曝光的確不到一秒...
沒唬人...不用頂級的黃光機可以做到...
12吋 scanner 的機台曝完一片wafer更是不用一分鐘...
可不是曝幾顆而已...是曝成千上萬顆...
廠商要賺錢自然有他的know-how...
2010-10-11 16:45:09 補充：
1970年代至今...40年了...
機台進步很多了...如果機台怕這些東西要怎麼賣?
何況若機台爛..你老師還可以打電話去罵廠商...
你還可以在旁邊學將來出社會怎麼罵...怕什麼...

By Sandy
at 2010-10-12T16:39

米國肥來的大師他喜歡出那種兩個答案都對三個答案都對或是三個選項都錯的問題
2010-10-11 12:56:20 補充：
資深工程師－Supertex Inc.製程整合研究部（1985/10~1987/4）
資深工程師－National Semiconductor Inc.電子品保研究部（1984/2~1985/7）
資深工程師－Fairchild Semiconductor Inc.晶體成長部研發中心（1982/2~1984/2）
資深研究員－Lawrence Berkeley Lab.分子及材料研究中心
（1979/10~1981/10)
老闆醬子應該是蠻有實務經驗的吧?可能我沒有把他上課問的問題
聽得很精準^^||| 但大概是醬子也還要勞煩您解答真是辛苦您了^^|||
2010-10-11 12:57:56 補充：
後面還洋洋灑灑一堆履歷不方便列出 XD 但是他電腦不大行所以還不怕他上來查學生 XD
2010-10-11 13:08:32 補充：
喔喔喔是喔哈哈那我要不要電我老闆說自己沒親自盯過機台還敢問學生XDD?
他人是很NICE 不過就是脾氣古怪些@@
謝謝您哩還辛苦撥空回答在下問題 ^^
2010-10-11 15:01:47 補充：
謝謝您挖您好強受教了持續學習中以後再有問題還勞煩您不吝賜教^^
2010-10-11 15:07:43 補充：
我想老師的疑問是在於要對東西,他以前是用人工肉眼去慢慢對,而現在機器只要指令設定,就能快速精準的對到位,所以他會覺得很amazing,unbelievable!?
但是萬一機器有個些微振動啥的不就整個流程甚至產品都報廢了@@?
2010-10-11 16:53:47 補充：
哈哈您太幽默了我都只幹在心裡口南開因為老闆最大他也常很隨興的出一堆問題當作業哈哈哈沒關係把吃苦當作吃補這也沒什麼
他最常掛嘴邊的就是博士真乖像條狗耐操哈哈

(VLSI)為什麼曝光顯影的速度只需0.2秒?(微影製程) - 工程師

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